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四氟化碳

四氟化碳

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所屬分類:氟化物產品

發布日期:2021-06-29 16:17:47

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詳情
  分子式:CF4
  分子量:88.01
  CAS號:75-73-0
  性質:又稱四氟甲烷。
  (tetrafluormathane)。無色無臭味氣體。不燃。熔點-184℃。沸點-128℃。稍溶于水。由四氯化碳氟化制得。主要用于制取氟硅橡膠,也可用作制冷劑、絕緣氣體??捎糜诎雽w生產中等離子蝕刻、表面清洗,并用作太陽能電池氣體,激光器工作介質。及超低溫制冷劑,氣體絕緣劑、微電子工業中等離子體化學干刻劑以及火箭方向的控制。高濃度對人體有麻醉作用。
  用途:用于致冷劑、溶劑、潤滑劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑。也用于制作低溫液體壓力計或作為惰性氣體,或用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝和激光氣體。

  產品指標:

洛陽特來化工科技產品質量指標
項目名稱 指標純度
四氟化碳(CF4).% ≥99.999 ≥99.995 ≥99.99
氮氣(N2).ppmv ≤4 ≤20 ≤40
氧氣(O2).ppmv ≤1 ≤5 ≤10
二氧化碳(CO2).ppmv ≤1 ≤5 ≤10
一氧化碳(CO).ppmv ≤0.3 ≤0.5 ≤1
六氟化硫(SF6).ppmv ≤1 ≤1 ≤5
水份(H2O).ppmv ≤1 ≤5 ≤10
酸度(HF).ppmv ≤0.1 ≤0.3 ≤0.3
氟碳化合物(TFC).ppmv ≤1 ≤10 ≤30
注:氟碳化合物CH3F(R41)、CH2F2(R32)、CHF3(R23)、C2F6(R116)、C3F8(R218)等。
  產品包裝:

鋼瓶規格(DOT) 48.8L 47L 40L 10L 4L
鋼瓶閥 CGA580/CGA590/CGA320


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